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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
# V  {, p, T+ f% m+ p+ I$ d7 Q- }了解工作原理和性能特点
+ \) I+ H/ F% o3 l5 ]2 s台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。% k5 [- ^- k7 ]& R/ A" b8 X
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。& k$ `# n8 {- ^9 X  P+ z$ ]) l- D2 i

/ C1 E" a2 t  [$ F. z' I功能和作用介绍
. o0 d  l. Q7 m作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
# Q1 {2 G$ O9 @3 @7 V(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;' k8 y% v( ^& J$ X& X
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;4 U. v. k6 E$ q, Y
(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。- p; r, U2 N0 w& V) H

. n" u$ t( J+ o8 e& t台阶仪的应用) K, I( Y! n$ p. y0 V- B( N1 f5 W3 ~
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。' A: H0 c% j3 q. L
台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。" z% H$ _$ O8 a* Y9 N

; T! \/ T( l# d" p台阶仪优势总结2 f6 R2 t8 c! Q6 k; }% j; V- \( L
1、高精度的测量能力8 P2 Z5 E5 ^! o! y+ ]4 M3 _- u
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。% \  g) K$ `3 l; U* I- T
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。& p0 v3 {* E& n: A1 R
2、快速测量的能力
& X" N7 {: ^  l) _: e7 J) T台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。) [2 p# l' Z* S. L' e3 i
3、广泛的适用范围
1 [' }0 j7 P& p" y6 u% `3 M台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
. i! V2 b% ?# M) ]- g' _% i/ P- w- U  p- H1 ?6 u* w+ X1 _
$ w6 g, k4 k- k; a
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