SJ6000激光干涉仪校准机床导轨定位精度的测量原理

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1.简介1.1 产品简介

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　　激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测仪器，在高端制造领域应用广泛。

　　SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。

　　SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现线性长度、角度、平面度、直线度、垂直度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测；进行机床振动测试与分析；滚珠丝杆的动态特性分析；驱动系统的响应特性分析；导轨的动态特性分析等，为设备误差修正提供依据。

2.产品功能特点2.1.产品特点

精度高

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

功能广

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。

标准多

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

便携性

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     使用方便：准直激光后，轻易实现设备线性定位、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度的测量。

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     携带方便：基本重量为15kg，简单便携。

可定制

file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.gif     测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。

2.2.  分析标准配置
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　　激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。