台阶仪（探针式轮廓仪）

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台阶仪是干什么的？在太阳能光伏行业能测什么？
$ H! d4 ^) g7 _  i! e) s台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

如太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源，在近些年迎来快速发展，而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中，多会镀一层透明的ITO导电薄膜，其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响，因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。
! V1 H+ _' T, I, @' ^3 w由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有较强的反射率，会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真，因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量，由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米，考虑到测量的同时不损伤样件本身，因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。

; b. d1 O8 f# u1 l3 ICP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

" k1 B" T9 k7 S, R) f! V针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；


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